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作者:网络 发表于:2022-08-02   点击:

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作为物联网最基础应用层—感知识别层的重要元器件,传感器在物联网中的地位举足轻重,它是物联网建立的重要前提。

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关键词:电流传感器;零磁通;电子线路;补偿中图分类号:TM461文献标识码:A文章编号:1000—9787(2009)10—0052—03Studyonhigh2precisioncurrentsensorwithzerofluxZHANGZhen2hong,ZHAOYou2jun(ShandongUniversityofScienceandTechnology,Taian271019,China)Abstract:Themeasurementaccuracyofcommoncurrentsensorisonly3%~5%anditisdifficulttomeettheneedsofhigh2precisionmeasurement.Throughtheerroranalysisofcurrentsensor,theelectroniccircuitisaddedtothecommoncurrentsensortotrackthemagnetizingcurrentofironcoreandcompensateitdynamically,sothattheironcorecanachievezerofluxstate.Theworkingprincipleofcurrentsensorbyaddingelectroniccompensationcircuit,thestructureofelectroniccircuitandtheselectionmethodofparametersincircuitareanalyzed.Thematerialandstructureofironcoreandshieldingmethodofcurrentsensorarealsoanalyzed.Theperformancetestshowsthattheaccuracyofcurrentsensorisimprovedandthecompensationeffectisgood.Keywords:currentsensor;zeroflux;electroniccircuit;compensation0引言在高压电器设备的绝缘在线监测过程中,泄漏电流的提取是分析绝缘状况的一个重要环节。

图10热冲击下的裂纹萌生机理虽然他们的试验不是针对MEMS惯性器件来进行的,但由于MEMS惯性器件中经常用到薄膜工艺,因此,在热冲击下薄膜裂纹萌生机理与该试验呈现的结果类似。

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由于MEMS惯性器件的微梁结构在振动交变应力作用下的受力情况也与上述梁结构近似,因此出现的失效模式及失效机理也类似。

WalravenAJA等人的研究发现,较大ESD脉冲引起梳齿的运动,导致其与基底发生粘附失效,同时也造成了短路失效。

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在热冲击的作用下,材料的杨氏模量将发生改变,硅表面的氧化物薄膜将产生裂纹,并逐渐扩散到结构内部,最终造成器件材料的疲劳失效。

随着MEMS惯性器件的广泛应用,其可靠性问题越来越突出,成为制约应用拓展和国防安全的关键。

英文摘要必须与中文摘要一一相对应,准确译出。

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